Die ölgedichtete DVE-Vakuumpumpe ist die Drehschieber-DVE-Vakuumpumpe, die im Allgemeinen die DVE-Vakuumpumpe der Vorstufe der Vakuumeinheit ist. Diese Art von Pumpe komprimiert verschiedene Mischgase auf Atmosphärendruck und gibt sie im Bereich von 60~100℃ in das Auspuffrohr ab.

Wenn der Druck, die Konzentration und die Temperatur der gefährlichen Produkte in der Pumpe relativ hoch sind, sammeln sich diese Stoffe in der Pumpe und dem Zubehör der Pumpe an und diese Stoffe kommen mit der Umgebungsluft in der Abgasleitung usw mögliche Gefahren.

Für gefährliche Gase, die bei der Halbleiterherstellung verwendet oder erzeugt werden, müssen geeignete Messmethoden angewendet werden, um Brände und Explosionen zu verhindern, den normalen Betrieb der Geräte sicherzustellen und akute oder chronische Vergiftungen von Bedienern, Wartungspersonal und Servicepersonal zu verhindern. Aus Sicherheitsgründen sollten geeignete DVE-Vakuumpumpen und Zubehör mit ausreichender Pumpleistung ausgestattet sein, angemessene Betriebs- und Wartungsmethoden angewendet und geeignete Überwachungseinrichtungen sollten verwendet werden.
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